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扫描电镜是用来测什么的(sem扫描电镜)

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扫描电镜是用来测什么的

品牌型号:sfmit扫描电镜

系统:DSF-60

扫描电镜是用来测样品表面材料的物质性能进行微观成像。

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大、视野大、 成像立体效果好。

此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。

扫描电镜的工作原理是什么

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。

扩展资料:

研发历程:

1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。

1931德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。

1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。

1959年第一台100KV电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜DX3 在中国科学院科学仪器厂(现北京中科科仪技术发展有限责任公司)研发成功。

参考资料来源:百度百科-扫描电子显微镜

扫描电镜的主要用途

大景深图像是扫描电镜观察的特色,例如:生物学,植物学,地质学,冶金学等等。观察可以是一个样品的表面,也可以是一个切开的面,或是一个断面。冶金学家已兴奋地直接看到原始的或磨损的表面。可以很方便地研究氧化物表面,晶体的生长或腐蚀的缺陷。它一方面可更直接地检查纸,纺织品,自然的或制备过的木头的细微结构,生物学家可用它研究小的易碎样品的结构。例如:花粉颗粒,硅藻和昆虫。另一方面,它可以拍出与样品表面相应的立体感强的照片。 在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。 电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。 扫描电镜对于固体材料的研究应用非常广泛,没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述,扫描电镜是至关重要的。 具体功能用途归纳如下: 1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸) 2、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析. 1)用x射线能谱仪或波谱(EDSorWDS)采集特征x射线信号,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析,相鉴定。 2)利用背散射电子BSE基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差,生成化学成分相的分布图像; 3)利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像。 4)利用样品电流,基于平均原子序数反差,生成的化学成分相的分布图像,该图像与背散射电子图像亮暗相反。

SEM、TEM、TG、XRD、AFM、红外光谱,这几个分别是测什么的?

测什么百度一下吧,应该都有详细的测试原理及项目。

区别应该是 SEM和TEM和AFM,越来越高级,放大倍数越来越高。XRD和红外光谱这两个是没什么关系的,xrd是测试晶体结构的,可以测试晶体结构的,对于可以看出你的材料是什么。红外是靠红外吸收峰的位置与强度反映了分子结构上的特点,可以用来鉴别未知液态水的红外光谱物的结构组成或确定其化学基团;而吸收谱带的吸收强度与化学基团的含量有关,可用于进行定量分析和纯度鉴定。l红外主要用于有机化合物的结构鉴定在有机化学、生物化学、药物学、环境科学等许多领域。

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜,简称扫描电镜,英文名为Scanning Electron Microscope,缩写为SEM,是利用高能量的电子束在固体样品表面扫描,激发出二次电子、背散射电子、X射线等物理信号,从而获得样品表面图像及测定元素成分的一种电子光学仪器。

扫描电镜,按其功能划分,由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、真空系统以及电源系统等六个部分组成(图5-1)。由电子枪发出,经电磁透镜会聚的电子束,由扫描线圈控制在固体样品表面作光栅式扫描,入射至样品中数微米深的范围内。这些高能电子与样品中原子相互作用后,使样品内产生二次电子、背散射电子、X射线等物理信号。

在入射电子的作用下从固体样品中射出的,能量小于50e V的电子都称为二次电子(Secondary Electron,常以缩写SE表示)。大部分二次电子的能量在3~5e V之间。背散射电子(Backscattered Electron,常以缩写BE表示)是被固体样品原子反射回来的入射电子,所以有时又称为反射电子(reflected electron,请勿称作背反射电子),其能量与入射电子的能量相等或接近相等。

图5-1 扫描电子显微镜的结构(未显示电源系统)

扫描电镜中的成像与闭路电视的成像相似。样品中产生的二次电子、背散射电子等物理信号可分别由检测器逐点逐行采集,并按顺序和成比例地将物理信号进行处理后输送到阴极射线管的栅极调制其亮度,显示出样品的图像。扫描电镜镜筒中的电子束在样品表面的扫描与阴极射线管中电子束在成像平面上的扫描是同步的。因此,阴极射线管上的图像与样品实物是逐点逐行一一对应的。由于样品表面各部位的形貌、成分和结构等的差异,被激发的二次电子、背散射电子数量有所不同,从而在阴极射线管上形成反映样品表面特征的明暗不同的图像。因此,扫描电镜的图像是一种衬度图像,并不是彩色图像。早期的扫描电镜图像是模拟图像,由照相底片记录。近年来图像均已数字化,可由计算机储存和显示。

由于二次电子能量较低,在距离表面10nm以上的样品内部产生的二次电子几乎全被邻近的原子吸收而无法逸出样品被检测器检测到。因此,二次电子像所反映的信息完全是样品表面的特征,是扫描电镜中使用最多的图像(图5-2)。

扫描电镜图像的特点是:① 放大倍数范围大,其有效放大倍数可从数十倍至十万倍,基本上概括了放大镜、光学显微镜至透射电镜的放大倍数范围。②分辨率高,景深大,立体感强。其二次电子图像的分辨率已达3nm,比光学显微镜约高5个数量级。在同一放大倍数下扫描电镜图像的景深比光学显微镜的景深大10~100倍。

图5-2 草莓状黄铁矿的扫描电子图像

扫描电镜对样品的基本要求是:①样品必须是干燥、清洁的固体,在高能电子束的轰击下不变形,不变质,并能经受住真空的压力。②样品必须导电。不导电的样品可在表面喷镀一层导电膜。近几年有些不导电的样品在数百伏的低加速电压下也能进行观察。因此,光片、没有盖玻璃的薄片以及断面等都能在扫描电镜中进行观察。对样品的大小也没有严格的要求,观察面积约1cm2,样品高度小于1cm较为适中。

近年来绝大多数扫描电镜都配备X射线能谱仪,有时还可配备电子背散射衍射部件,在观察图像的同时还可在原地进行微区的成分和结构分析。详情请见本章第三节和第四节的相关部分。

sem扫描电镜是测什么的

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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